全部作者	锺宜玲
论文名称	FPGA Based Temperature Control of Semiconductor Etcher by Neural Network
研讨会名称	The 2nd International Conference on Engineering and Applied Science (2013 ICEAS)
举行地点	日本东京
会议开始时间	2013-03-15
会议结束时间	2013-03-17
作者顺序	第一作者